안녕하세요?

호서대학교 에너지공학과 재학중인 강병우라고 합니다.

스퍼터링을 공부하다가, 플라즈마에 대해 궁금한게 생겨서 질의 드립니다.

 "플라즈마 구 예시"(링크)

 

플라즈마 구의 경우, 중심부에 음극을 위치시키고, 구 안에 비활성기체를 넣어주고, 고전압을 걸어주면 방전현상이 일어나게 된다까지는 이해가 됩니다.

 

그런데, 스퍼터링의 경우에는 음극과 양극이 위치하고 있어서, 방전으로 인해 생긴 전자가 양극을 통해 흘러서 전자의 흐름이 발생할 것입니다. 스퍼터링 기구 안에서의  전자의 흐름으로 인해 전자기파도 발생하고, 전자가 다른 입자에 부딪혀 여기시키면서 한번더 전자파를 발생시키고, 이로 인해, 플라즈마가 빛을 나타내는 것으로 이해하고 있습니다.

 

그런데, 플라즈마구의 경우에 따로 양극이 없고 유리로 둘러쌓여있는데, 이 전자가 흘러나갈 수 있는 통로가 있나요?

 

손가락을 갖다 대거나 하면, 빛이 손가락 쪽을 향하는데, 그럼 이 플라즈마로 보이는 빛, 즉 전자가 유리를 뚫고, 손가락을 통해 빠져나가는 것인가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5871
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17330
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53152
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64553
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85164
558 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 761
557 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 767
556 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 778
555 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 781
» 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 784
553 플라즈마 챔버 [2] 787
552 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 792
551 Plasma Generator 관련해서요. [1] 793
550 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 799
549 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 800
548 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 802
547 진학으로 고민이 있습니다. [2] 808
546 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 812
545 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 813
544 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 815
543 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 817
542 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 818
541 알고싶습니다 [1] 827
540 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 843
539 고진공 만드는방법. [1] 843

Boards


XE Login