번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [130] 5620
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16924
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51353
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64229
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84333
693 OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. 8
692 plasma modeling 관련 질문 16
691 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 58
690 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 67
689 ESC DC 전극 Damping 저항 72
688 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 74
687 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 118
686 RF Sputtering Target Issue [1] file 132
685 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 134
684 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 138
683 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 152
682 Polymer Temp Etch [1] 152
681 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 152
680 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 152
679 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 156
678 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 162
677 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 166
676 plasma striation 관련 문의 [1] file 171
675 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 197
674 RPSC를 이용한 SiO, SiN Etch 관련 문의드립니다. [1] 201

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