Others 형광등으로 부터 플라즈마의 이해

2004.06.21 15:12

관리자 조회 수:17031 추천:270

형광등으로 부터 플라즈마의 이해

플라즈마를 이해하기 위해서 형광들을 이해하려함은 아주 좋은 생각입니다. 형광등은 우리 주변에서 플라즈마 현상을 가장 가까이
서 쉽게 찾을 수 있기 때문입니다. 하지만 여기서의 현상들은 플라즈마의 기본현상을 모두 담고 있기에 이해하기가 그리 쉬운 문제는
아닐 것입니다. 이미 소개된 내용을 참고하여 문제를 좀 더 이해하여 보기 바랍니다.

아울러 한가지 첨부하고자 하는 사항은 형광등 양쪽에 검게 나타나는 부분은 형광등을 시작할 때 사용되는 열전자 방출용 필라멘트
가 sputtering되면서 그 sputtered 물질들이 유리관에 붙어 나타나는 현상입니다. 이는 형광등을 자주 on/off하면 더욱 심하게 되며
아울러 검게 되었다는 말은 filament가 가늘어 졌다는 이야기가 되며, 이렇게 되면 filament의 저항이 점차 크게 되어 쉽게 끊어지게
되어서 형광등의 수명이 다하게 됩니다. 이때의 현상은 implantation (이온이 물질 표면에 주입되는 현상을 의미함으로 이때 요구되는
이온의 에너지는 수 kV이상의 높은 에너지를 요구하게 됩니다.)이라 하지 않고 입사되는 이온에 의한 sputtering에 따른 방출 입자의
표면 흡착, 즉 coating에 해당됩니다. (sputter 항목 참조)
아울러 저희가 현재 사용하고 있는 형광등의 주파수는 60Hz임을 참고하여 현상을 고려해 보길 바랍니다. 형광등이 계속 켜져 있는
것 같은 이유는 우리 눈이 갖고 있는 착시현상에 기인합니다. 또한 일반적인 형광등의 경우 파랑색 파장의 빛의 방츨이 많으므로
삼파장 램프에서는 붉은 빛의 영역이 밚이 보완되어 있습니다. 때론 삼파장 램프를 사용하면 붉은 색 느낌을 많이 받는 이유이기도
합니다.

마지막 질문의 RF플라즈마의 전위에 대해서 질문하였는데 플라즈마 전위는 플라즈마 온도와 밀접한 관계가 있습니다. 플라즈마 온도
에 따라서 자신의 전위가 결정되게 됩니다. 이는
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [300] 77935
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20790
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57704
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69208
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93566
616 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 882
615 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 883
614 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [Remote plasma 이해] [1] 884
613 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 888
612 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 892
611 문의 드립니다. [1] 895
610 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 898
609 Self bias 내용 질문입니다. [1] 919
608 Plasma Generator 관련해서요. [1] 922
607 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 925
606 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 931
605 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 932
604 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 939
603 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 942
602 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 954
601 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 957
600 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 960
599 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 962
598 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 962
597 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 971

Boards


XE Login