교수님 안녕하십니까, 저희는 한국항공대에 재학하고 있는 학생들입니다.

현재 DBDs 를 활용하여 유동제어 하는 곳에 사용하는 것을 목적으로 기초지식을 이해하고 있는 중에 궁금증이 많은데,

기계공학과이다보니 전기공학분야로는 문외한이라 이렇게 질문을 드립니다.


1. DBDs 를 통한 유동제어에서 유동을 생성하는 주요한 인자가 양이온의 크기로 인한 공기중의 분자와 충돌인지, 혹은 전자의 가볍고 빠른 충돌로 인한 에너지 전달로써 공기중의 분자를 이동시키는 것인지 궁금합니다.

2. 또한 DC를 사용하여도 플라즈마가 생성되는 것으로 알고 있는데, DBDs는 왜 DC를 사용하지 않고 AC를 사용하는지? 궁금합니다. (DC를 사용해도 유동방향이 생기는데, 왜 AC를 사용하는 것인지 궁금합니다.)  (여기서, 저희가 DC를 사용하는 것이 계속적으로 전력을 공급하면 열에너지에 의해서 아크방전 영역으로 발전하여 방전이 유지되지 않기 때문에 AC를 사용하는 것이라 추측하였는데, 이것이 맞는 가정인지도 궁금합니다.)

3. DBDs 에서 유전체를 사용하는데, 유전체를 이용하면 유동바람을 생성하는데 많은 장점이 있는 건가요?


너무 기초적인 질문이라 답변하시기 귀찮으실 것 같다는 생각도 드는데..저희가 약 한달간 공부했는데, 정확한 이유를 알지 못하는 부분입니다. 꼭 부탁드립니다 ㅠㅠ

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5835
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17293
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53128
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64518
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85135
» DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1206
477 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 1206
476 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1212
475 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1219
474 charge effect에 대해 [2] 1222
473 MATCHER 발열 문제 [3] 1224
472 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1236
471 Ar plasma power/time [1] 1239
470 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1239
469 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1243
468 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1245
467 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1245
466 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1246
465 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1260
464 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1266
463 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 1268
462 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1269
461 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1272
460 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1274
459 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1278

Boards


XE Login