안녕하십니까.

산소양이온이 금속전극을 충돌하면, 산소양이온은 무엇으로 변하는지 궁금합니다.


1) 금속표면바로아래의 전자가 터널링에 의하여 나와서 산소양이온과 결합 하여 산소분자로 환원이 되는지?

  - 산소분자로 환원이 된다면, metastable 상태를 거쳐서 산소분자가 되는지..

2) 전자과 결합하는 과정에서 산소원자들이 생성이 되는지?


자료를 찾을 수가 없어서 문의드립니다.


오늘도 좋은 하루 되세요. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73079
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17643
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55521
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65733
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86106
387 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2209
386 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2213
385 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2254
384 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2271
383 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 2277
382 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2288
381 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2293
380 임피던스 매칭회로 [1] file 2328
379 Plasma etcher particle 원인 [1] 2330
378 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2352
377 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 2357
376 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 2467
375 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2476
374 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2481
373 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 2483
» 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2487
371 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2505
370 PR wafer seasoning [1] 2519
369 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 2541
368 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2579

Boards


XE Login