Matcher matching box에 관한 질문

2010.05.05 13:54

김정욱 조회 수:29651 추천:212

안녕하세요...
저는 반도체 회사에서 근무하는 사람입니다..
matching box 관련하여 질문이 있어서 글을 올립니다..
현업에서 matching box관련 monitoring하는 parameter중 Load position과 Tune position이란 게 있습니다..
여기 사이트에서 load capacitor와 tune capacitor 얘기가 언급되어 아마 capacitor 관련 용어인 것으로 짐작
되어 지는데 정확한 의미와 역할을 알고 싶습니다..
제 나름대로 확인한 바로는 impedance matching은 L nework와 Pi network가 있는데 위에서 언급한 Load
capacitor와 Tune capacitor는 Pi network에서 사용되는 2개의 capacitor 이름인가요?
답변 부탁 드립니다..

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
763 corona model에 대한 질문입니다. [1] 168
762 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 169
761 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 181
760 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 184
759 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 186
758 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 190
757 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 191
756 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 199
755 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 209
754 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 222
753 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 223
752 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 231
751 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 235
750 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 238
749 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 262
748 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 287
747 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 297
746 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 297
745 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 299
744 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 304

Boards


XE Login