ATM Plasma 유전체 플라즈마

2004.06.19 16:54

관리자 조회 수:17543 추천:292

유전체 플라즈마에 관심이 많으시군요. 저희 실험실도 DBD 실험을 하고 있으며 자동차에도 적용할 수 있을 것으로 기대합니다.

질문에서 일반적인 DBD 반응기의 경우 구조가 전극+유전체+공기+유전체+전극의 구조로 되어 있고 그 이유에 대한 궁금증인것 같습니다. 전극 앞의 유전체가 하는 일은 발생한 플라즈마로부터 전극으로 직접 빠져 나가는 전하를 가두고 또한 이차전자를 방출하는 역할을 합니다. 만일 전극 사이에서 플라즈마가 발생되면 전극 사이에 있는 공기는 더 이상 절연성이 높은 유전체가 아닙니다. 오히려 전기 전도도가 좋은 물질, 즉 플라즈마와 공기 개스가 혼재된 상태의 유전 물질로 변하게 됩니다. 따라서 그 특성은 전극 표면의 유전체와는 본질적으로 다른 것입니다. 아울러 전극 간에서 일어나는 break down에 대하여 궁금해 하였는데 저희 강의록을 찾아 보면 Paschen curve에 대한 내용이 있습니다. DC 방전이 일어날 수 있는 조건을 개념적으로 설명해 놓았으니 참고하시기 바랍니다. 다라서 DBD에서 일어나는 방전은 corona 방전과는 달리 넓은 면적에서 방전이 일어나는 특징을 갖아 면방전이라 부르기도 하는 glow 방전의 일종이 됩니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
283 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 9259
282 에칭후 particle에서 발생하는 현상 9497
281 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 9509
280 대기압 플라즈마에 대해서 9621
279 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9654
278 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9816
277 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9841
276 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 9907
275 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 10223
274 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] 10280
273 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 10336
272 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 10370
271 RGA에 대해서 10534
270 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11070
269 DC bias (Self bias) [3] 11217
268 N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] 11293
267 플라즈마 살균 방식 [2] 11415
266 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. 12348
265 ICP와 CCP의 차이 [3] 12432
264 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 12733

Boards


XE Login