안녕하십니까? 반도체 현업 종사자 입니다.


(PAP)plasma absorption probe관련하여, 측정을 진행하고 있습니다. 플라즈마 밀도 측정입니다.


일단 측정을 하기 위해서 펄스제너레터, 펄스 트리거, 오실로스코프등을 준비하여 측정을 하고 있는데요.


원리가 주파수에 따라서 전자밀도를 측정하는것으로 추정하고 있습니다.


일반검색자료애서 (PAP)plasma absorption probe관련 자료가 잘 검색이 되지 않아서요....


교수님, 외람되지만, (PAP)plasma absorption probe관련 원리와 추천해주실 논문 있으시면 부탁드립니다.


그리고, 이 측정 방법도 간접적 측정이 아닌 직접적 측정방식으로 알고 있습니다. 랑뮤어 프로브는 플라즈마 간섭현상이 있어서 정확도 떨어지는 것으로 알고 있느데....제가 생각하기로는 분광기를 통한 전자밀도 측정이 정확하다고 생각합니다. 굳이 (PAP)plasma absorption probe를 사용하는 이유가 있는지요?? 다른 방법대비 장점이 있는지가 궁금합니다.


감사합니다. 좋은하루 보내십시오.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76538
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20075
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91694
744 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 303
743 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 304
742 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 312
741 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 312
740 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 313
739 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 331
738 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 332
737 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 336
736 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 337
735 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 340
734 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 353
733 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 353
732 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 356
731 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 367
730 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 373
729 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 379
728 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 381
727 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 381
726 plasma modeling 관련 질문 [1] 383
725 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 389

Boards


XE Login