Plasma in general (PAP)plasma absorption probe관련 질문

2018.08.06 10:14

베컴 조회 수:434

안녕하십니까? 반도체 현업 종사자 입니다.


(PAP)plasma absorption probe관련하여, 측정을 진행하고 있습니다. 플라즈마 밀도 측정입니다.


일단 측정을 하기 위해서 펄스제너레터, 펄스 트리거, 오실로스코프등을 준비하여 측정을 하고 있는데요.


원리가 주파수에 따라서 전자밀도를 측정하는것으로 추정하고 있습니다.


일반검색자료애서 (PAP)plasma absorption probe관련 자료가 잘 검색이 되지 않아서요....


교수님, 외람되지만, (PAP)plasma absorption probe관련 원리와 추천해주실 논문 있으시면 부탁드립니다.


그리고, 이 측정 방법도 간접적 측정이 아닌 직접적 측정방식으로 알고 있습니다. 랑뮤어 프로브는 플라즈마 간섭현상이 있어서 정확도 떨어지는 것으로 알고 있느데....제가 생각하기로는 분광기를 통한 전자밀도 측정이 정확하다고 생각합니다. 굳이 (PAP)plasma absorption probe를 사용하는 이유가 있는지요?? 다른 방법대비 장점이 있는지가 궁금합니다.


감사합니다. 좋은하루 보내십시오.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [182] 75027
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 18871
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56344
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66872
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 88354
679 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 376
678 Polymer Temp Etch [1] 378
677 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 387
676 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 390
675 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 391
674 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 393
673 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 395
672 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 396
671 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 402
670 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 402
669 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 403
668 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 403
667 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 409
666 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 412
665 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 413
664 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 419
663 핵융합 질문 [1] 421
662 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 428
661 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 430
660 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 432
쓰기
태그

Boards

XE Login