OES 플라즈마 진단 OES 관련 질문

2022.11.27 01:07

wldn 조회 수:701

안녕하세요, 플라즈마 관련하여 공부하고 있는 대학원생입니다.

 

플라즈마 진단 장비인 OES에 대해 몇가지 궁금증이 있어 글을 남깁니다.

 

OES로 실시간 플라즈마 공정 모니터링을 진행시 spectrum data가 검출되는데,

해당 spectrum data 파장영역에서 검출되는 원소를 찾아 정성분석이 가능하지만,

반면 정확한 정량분석은 어떻게 이루어 지는지 원리를 알고 싶습니다.

 

OES 정량분석을 공부하다가, 다른 논문들을 통해 actinometry으로 OES 정량분석을 진행하는걸 확인하였는데,

actinometry 방법 사용 이유, 원리 등을 자세하게 알고 싶습니다. 

 

또한 플라즈마를 이용한 건식식각 공정 중 OES를 이용하여 etch chemistry를 알 수 있는 방법이 있다면, 어떠한게 있을까요?

 

질문방의 여러가지 다양한 질문과 답변을 통해 많은 도움을 받고 있습니다.

감사합니다.

 

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76538
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91694
744 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 303
743 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 304
742 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 312
741 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 312
740 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 313
739 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 331
738 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 333
737 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 337
736 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 337
735 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 340
734 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 353
733 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 353
732 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 356
731 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 368
730 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 373
729 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 379
728 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 381
727 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 381
726 plasma modeling 관련 질문 [1] 383
725 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 389

Boards


XE Login