Plasma in general (PAP)plasma absorption probe관련 질문
2018.08.06 10:14
안녕하십니까? 반도체 현업 종사자 입니다.
(PAP)plasma absorption probe관련하여, 측정을 진행하고 있습니다. 플라즈마 밀도 측정입니다.
일단 측정을 하기 위해서 펄스제너레터, 펄스 트리거, 오실로스코프등을 준비하여 측정을 하고 있는데요.
원리가 주파수에 따라서 전자밀도를 측정하는것으로 추정하고 있습니다.
일반검색자료애서 (PAP)plasma absorption probe관련 자료가 잘 검색이 되지 않아서요....
교수님, 외람되지만, (PAP)plasma absorption probe관련 원리와 추천해주실 논문 있으시면 부탁드립니다.
그리고, 이 측정 방법도 간접적 측정이 아닌 직접적 측정방식으로 알고 있습니다. 랑뮤어 프로브는 플라즈마 간섭현상이 있어서 정확도 떨어지는 것으로 알고 있느데....제가 생각하기로는 분광기를 통한 전자밀도 측정이 정확하다고 생각합니다. 굳이 (PAP)plasma absorption probe를 사용하는 이유가 있는지요?? 다른 방법대비 장점이 있는지가 궁금합니다.
감사합니다. 좋은하루 보내십시오.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76539 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68613 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91695 |
142 | Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. | 19681 |
141 | DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 | 19710 |
140 | 대기압 상태의 플라즈마 측정 | 19721 |
139 | PM을 한번 하시죠 | 19724 |
138 | 상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. | 19751 |
137 | 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] | 19768 |
136 | [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] | 19830 |
135 | 플라즈마 진동수와 전자온도 | 19998 |
134 | 석영이 사용되는 이유? [1] | 19999 |
133 | CCP의 Vp가 ICP의 Vp보다 높은 이유 | 20003 |
132 | Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. | 20194 |
131 | DBD플라즈마와 플라즈마 impedance | 20202 |
130 | 플라즈마 matching | 20218 |
129 | 형광등과 플라즈마 | 20239 |
128 | 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] | 20257 |
127 | 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] | 20308 |
126 | CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [1] | 20357 |
125 | Langmuir probe tip 재료 | 20400 |
124 | RIE장비 에서 WALL 과 TOP 온도 | 20411 |
PAP 진단법은 제게 매우 생소합니다. 혹시 구성 요소를 보니 Cut-off probe를 말씀하시는 것일 수도 있겠다는 생각입니다. 충남대학교 물리학과의 유신재 교수님을 추천합니다. 참고하세요.