ATM Plasma 플라즈마를 이용한 오존 발생장치
2004.06.19 17:13
질문에 혼돈이 있는 이유는 플라즈마를 이용한 오존 발생기가 있기 때문입니다. 다시 이야기 하면 오존을 만들기에 적합한 플라즈마 발생 방치들이 있다는 말입니다. 이와 다른 방법으로 오존을 만드는 예에대해서는 저는 잘 아지 못하고 다만 플라즈마를 이용한 오존 발생장치를 예로 하겠습니다. 최근에는 DBD 방법으로 산소 플라즈마를 만들다 보면 많은 오존에 형성되게 됩니다. 또한 Corona 방전, 대부분 고전압 펄스 방전에서 형성되는 플라즈마를 의미하는데 이를 대기압 상태에서 형성시키다 보면 공기 중 산소에 의해서 오존이 다량 셩성되기도 합니다. 앞에서 말한 Corona 방전기, 대기압 방전, DBD등은 이전 설명을 참고하시고 이들 방전기를 플라즈마 발생기의 한 종류라 생각할 수 있으며 일반적인 플라즈마 발생기에 비해서 높은 운전 압력, 즉 대기압 등의 조건에서 플라즈마를 발생하는 장치, 큰 의미의 플라즈마 발생기라 할 수 있습니다.
참고로 플라즈마라는 표현은 플라즈마 상태를 의미하는 것으로 물질의 상태 중 하나입니다. 따라서 대부분의 개스는 플라즈마 상태를 만드는 대상이 될 수 있으며 산소를 포함하지 않은 개스를 플라즈마 상태로 만들 경우 물론 오존의 발생 가능성은 거의 없습니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [234] | 75752 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19438 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56663 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67996 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 90218 |
57 | H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] | 24550 |
56 | ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] | 24655 |
55 | RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] | 24713 |
54 | Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] | 24724 |
53 | 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. | 24731 |
52 | PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [2] | 24905 |
51 | OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] | 25288 |
50 | 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? | 25533 |
49 | dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] | 25906 |
48 | 충돌단면적에 관하여 [2] | 25952 |
47 | 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] | 26364 |
46 | self bias (rf 전압 강하) | 26506 |
45 |
이온과 라디칼의 농도
![]() | 26779 |
44 | 플라즈마 온도 | 27115 |
43 | 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] | 27141 |
42 | 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 | 27472 |
41 | sheath와 debye shielding에 관하여 | 27508 |
40 | DBD란 | 27527 |
39 | 탐침법 | 27645 |
38 | 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [1] | 27748 |