안녕하세요. PEALD 장비를 개발하고 있는 연구원입니다.

 

보통 플라즈마의 장점이라 하면, 낮은 온도에서 공정이 가능하다는 점인데,

 

증착을 예로 들어, 플라즈마가 분해온도를 낮춰주는 역할을 하여 낮은 온도에서도 증착이 가능합니다.

 

현재 상온에서 증착 진행을 목표로, PEALD 4step 단계에서 3번째 step인 O2에서도 플라즈마를 넣지만,

 

낮은 온도에서의 TMA 분해를 위해 1step 에서도 플라즈마를 넣습니다. 여기서 궁금점이,

 

플라즈마가 TMA와 같은 전구체에 충돌을 하게 되면, 플라즈마의 전자가 몇 eV를 가질 때, 실제로 

 

얼마만큼의 에너지를 전달하는지, 온도를 얼마나 올려주게 되는 역할을 하는지 궁금합니다.

 

이와 관련된 논문 있어도 추천해주시면 정말 감사하겠습니다.

 

찾아봐도 플라즈마 전자의 eV(온도, 에너지) - 충돌하는 분자 에너지 전달 메커니즘 or 상관관계가 없더라구요,,

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [301] 77999
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20820
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57730
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69242
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93619
756 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 328
755 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 335
754 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해] [1] 338
753 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 339
752 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 340
751 ICP에서의 Self bias 효과 [DC offset voltage와 floating potential] [1] 340
750 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [Matcher 기능] [2] 348
749 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] 350
748 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 354
747 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 358
746 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 368
745 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 369
» 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상] [1] 375
743 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 385
742 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 398
741 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 401
740 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 402
739 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 404
738 plasma modeling 관련 질문 [1] 408
737 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 408

Boards


XE Login