안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [182] 75022
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 18864
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56341
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66858
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 88327
639 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 544
638 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 546
637 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 557
636 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 559
635 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 560
634 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 560
633 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 564
632 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 565
631 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 570
630 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 571
629 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 572
628 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 574
627 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 574
626 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 580
625 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 582
624 RF 파워서플라이 매칭 문제 583
623 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 585
622 라디컬의 재결합 방지 [1] 588
621 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 589
620 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 604

Boards


XE Login