Shower head PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의 드립니다. [플라즈마 분포와 확산]

2023.07.10 13:26

치킨냠냠 조회 수:448

안녕하세요

 

항상 많은 도움 감사합니다.

 

PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다.

 

CCP TYPE CVD 공정의 경시성 현상에 관한 질문입니다.

 

일반적으로 경시성은 Shower Head 의 불균일한 Oxidation에 의해서 발생을 하게 되는데

Oxidation이 심하게 되는 부위에서 Oxide 막이 두껍게 형성되어,

Shower Head에서의 열이 방사율이 높아짐에 따라 산화가 많이 된 쪽이 Heat Loss가 더 커질 것으로 판단되는데요

 

일반적으로 Oxidation의 경우 Center 대비 Edge 쪽에서 많이 이뤄져서 Edge 쪽 방사율에 의해 Edge 막의 Temp가 더 낮을 것으로 예상했으나

실제 현상으로는 Center 쪽 막의 Temp가 더 낮은 현상이 일어납니다.

 

이론적인 부분과 실제 현상이 매칭이 잘 안되어서 혹시 원인이 무엇일지 궁금해서 의견 어떠신지 질문드립니다.

(Edge 영역으로 열전달이 많이 될 수 있는 매커니즘이 있는지 궁금합니다)

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [312] 79204
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21246
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58053
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69609
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94394
743 plasma modeling 관련 질문 [Balance equation] [1] 432
742 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열] [2] 434
741 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [Plasma Cleaning] [1] 439
740 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [방전과 에폭시] [1] file 441
739 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다. [DC 바이어스 전압과 쉬스 전기장] [1] 445
» PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의 드립니다. [플라즈마 분포와 확산] [1] 448
737 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메커니즘에 대해 질문하고 싶습니다. [플라즈마-화학-표면 반응 모델] [1] 450
736 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [플라즈마 확산] [1] 457
735 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [Materials processing] [1] 459
734 CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선] [1] file 476
733 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [Matcher 기능] [2] 476
732 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [플라즈마 생성 반응] [1] 479
731 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [Pd condition과 PDP] [1] 483
730 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [상압 플라즈마 임피던스, matching] [1] 485
729 PEALD장비에 관해서 질문드리고 싶습니다. [장비 세정 및 관리 규칙] [1] 488
728 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [공정 조절과 CF4 계열 플라즈마] [1] 488
727 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 490
726 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [VPS] [1] 495
725 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 498
724 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [상압 플라즈마 방전 메커니즘과 특성] [1] 510
쓰기
태그

Boards

XE Login