Langmuir Probe 대기압플라즈마 진단

2004.06.21 15:52

관리자 조회 수:21023 추천:254

질문 ::

대기압 플라즈마에서 lanmuir probe로 분석할 수 있는지 궁금합니다.
온도가 높아서 탐침이 탄다고 하던데 해결할 수 있는지 궁금합니다.
답변 부탁드리겠습니다

답변 ::

탐침을 이용한 대기압 진단은 한마디로 말해서 매우 어렵습니다
다음과 같은 문제가 해결되어야 합니다.
1. 충돌성이 매우 높은 플라즈마의 특성이 대기압 플라즈마의 특징중에 하나입니다.
따라서 충돌성이 매우 높은 플라즈마에서의 쉬스 형성에 관한 문제의
해결 (쉬스 경계에서의 이온의 속도 정의)
2. 쉬스 안에서 이온화가 일어나는 정도에 따라서 탐침에 들어오는
전류량이 바뀌게 됩니다. 이 값에 대한 보정
3. 탐침이 입사되는 전류에 의해서 고온으로 될때 탐침에서 방출되는
열전자의 효과 보정 (많은 경우 이 값이 이온 전류로 오인되어 무리한
해석을 하고 있는 경우가 많습니다).
등등..

위의 문제들의 일부는 해결이 되고 있기도 합니다만 아직까지 이 모든
문제를 해결했다고는 보이지 않습니다. 하지만 옳지 못한 자료라 하더라도 탐침에 의한 자료 취득을 시도할 필요는 있습니다. 사용을 주저하지는 않기를 바랍니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76679
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57151
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68673
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92189
687 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 543
686 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 544
685 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 546
684 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 549
683 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 550
682 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 558
681 핵융합 질문 [1] 567
680 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 571
679 활성이온 측정 방법 [1] 572
678 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 574
677 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 575
676 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 583
675 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 584
674 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 587
673 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 589
672 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 589
671 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 592
670 RF Sputtering Target Issue [2] file 592
669 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 593
668 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 596

Boards


XE Login