안녕하세요 반도체회사에서 일하는 엔지니어입니다.

RF MATCHING NETWORK에 대해 독학을 하고 싶은데 관련 교재 추천 부탁드리겠습니다.


감사합니다.

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621 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 677
620 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 678
619 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 679
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616 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 689
615 RF 파워서플라이 매칭 문제 691
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613 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 704
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611 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 708
610 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 721
609 Collisional mean free path 문의... [1] 722

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