Plasma Source Plasma Generator 관련해서요.

2018.10.24 11:25

Elin0503 조회 수:791

안녕하세요.  

플라즈마 관련 직종에서 근무하고 있는 초보 직장인입니다.


한가지 질문 드릴게 있어서요,

Generator 하나를 사용하는데 Cable을 분기 시켜서

두개의 matching box로 가게 가능 할까요?


즉 Generator 하나를 사용하여 각각 다른 위치에 존재하는 Part를 클리닝 하고 싶어서요.

이게 실제 이론적으로 회로상으로 Relay를 줘서 분기 시켜서 

어쩔때는 Mater1으로 가고, 어쩔때는 Matcher2로 가는게 가능할까요?


관련 내용을 찾다가 갑자기 궁금해서 질문 드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5816
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17219
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53090
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64491
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85106
558 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 745
557 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 753
556 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 755
555 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 773
554 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 776
553 플라즈마 챔버 [2] 778
552 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 781
551 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 789
550 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 789
» Plasma Generator 관련해서요. [1] 791
548 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 797
547 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 798
546 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 802
545 진학으로 고민이 있습니다. [2] 803
544 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 806
543 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 808
542 알고싶습니다 [1] 810
541 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 811
540 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 817
539 plasma 형성 관계 [1] 834

Boards


XE Login