안녕하세요. 플라즈마응용연구실 관라자입니다.

 

금일부터 QnA 글을 작성하기 위해 등업제도를 일부 이용합니다.

 

해당 공지 게시글에 가입 인사를 적어주시면 QnA 글을 쓸 수 있는 권한을 받게 됩니다.

(*별도의 권한 처리 없이 댓글 등록시 바로 QnA 작성이 가능해집니다.)

 

글 작성 전에 반드시 댓글을 남겨주시고 QnA 글을 작성해주시기 바랍니다.

 

감사합니다.

 

** 기존에 글을 작성하셨던 분들도 권한 처리가 필요하므로 간단하게라도 댓글 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
» [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [336] 108333
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 26552
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 63693
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 75392
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 109016
695 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [Plasma information과 monitoring] [1] file 924
694 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION 간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [플라즈마 충돌 반응] [1] 928
693 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [플라즈마 회로 설계] [2] 934
692 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [UV energy] [1] 935
691 ICP에서의 Self bias 효과 [DC offset voltage와 floating potential] [1] 946
690 RPC ClEAN시 THD 발생 [RF shield와 ground의 강화] [1] 947
689 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해] [1] 951
688 ESC 사용 공정에서 Dummy Wafer Chuck Force 에 대해서 궁급합니다 [1] 952
687 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다. [플라즈마 소스 변경] [1] 963
686 Co-relation between RF Forward Power and Vpp [RF ground] [1] 965
685 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [전자 가열 방법 및 생산성에 따른 구별] [1] 965
684 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [Plasma torch와 cyanide] [2] 969
683 skin depth에 대한 이해 [Stochastic heating 이해] [1] 984
682 CCP RIE 플라즈마 밀도 [Global model, Plasma generation, Ionization collision] [1] 991
681 Dielectric Etcher(CCP)에서 사용하는 주파수 [Plasma frequency 및 RF sheath] [2] 993
680 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [전극 설계 및 방전기 운전 모드 개발] [1] 1006
679 기판표면 번개모양 불량발생 [Plasma charging] [1] 1006
678 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [Self bias] [1] 1008
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating] [1] 1008
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)] [1] file 1009

Boards


XE Login