Matcher RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다.

2022.04.19 11:40

맨시티챔스우승 조회 수:894

안녕하세요

측정장비 분야에서 일하고 있는 연구 엔지니어입니다.

 

ICP(13.56MHz) 이용해 플라즈마 띄우고 Standard L-type Matching Network 사용중입니다.

Matcher에 대해 어느정도 이론은 이해했다고 생각했는데 현실은 다르네요.

 

안테나와 Matcher 間 거리, 안테나의 길이, Clamp로 엮는 위치 등등 모든게 변수가 되는 것 같습니다...

이러한 이유로 Plasma를 띄운 후 Current 값이 계속해서 안정적이지 못하고 뛰는 것 같은데 혹시 이러한 값들도 영향을 미치나요?

 

혹시 최선의 값을 알고 계신다면 알려주시면 진심으로 감사하겠습니다.

바쁘신 연구 와중에도 항상 저희에게 도움을 주셔서 감사합니다.

 

, , 이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] 75427
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19163
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56479
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67558
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89368
608 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 731
607 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 732
606 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 732
605 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 737
604 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 746
603 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 750
602 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 750
601 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 750
600 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 753
599 플라즈마 충격파 질문 [1] 760
598 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 772
597 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 775
596 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 775
595 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 778
594 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 779
593 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 781
592 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 785
591 anode sheath 질문드립니다. [1] 785
590 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 801
589 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 802
쓰기
태그

Boards

XE Login