Ion/Electron Temperature 저온 플라즈마에 관한 질문

2004.06.25 12:54

관리자 조회 수:18079 추천:239

안녕하세요.대학교 1학년 학생이고 플라즈마에 대해 혼자 공부하다 질
문이 생겨서 이렇게 글을 올립니다.
질문1)고온 플라즈마와 저온 플라즈마의 차이
질문2)환경보호에 고온 플라즈마는 쓰이지 않고 저온 플라즈마
만 쓰이는 이유
질문3)플라즈마가 환경을 보호하는데 어떻게 쓰이는지 구체적
인 매커니즘
질문 3은 꼭 답해주지 않으셔도 되구요. 추천할만한 책이나 사
이트 남겨주셔도 감사.. 메일로 보내주시면 더 감사...^-^




번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4905
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16237
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63752
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83531
518 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 798
517 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 799
516 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 800
515 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 802
514 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 805
513 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 806
512 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 807
511 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 807
510 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 810
509 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 814
508 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 815
507 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 816
506 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 819
505 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 821
504 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 822
503 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 822
502 Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] 824
501 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 827
500 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 832
499 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 835

Boards


XE Login