안녕하세요.


우선 이런 홈페이지가 있는 줄은 몰랐습니다. 많은 글들이 올라와 있고 질문과 답변이 활발한 것 같습니다. 앞으로 많은 참고가 될 홈페이지인 것 같습니다. 이런 홈페이지를 만들고 관리하고 계셔서 감사드립니다.


저는 광주과학기술원의 물리 광과학과에서 공부하고 있는 박사과정생 장동규 라고 합니다. 저희 연구실에서 최근 13.56 MHz RF power 에서 작동하는 Solenoid 형 ICP (Inductively Coupled Plasma) 를 만들어서 연구를 수행하고 있습니다. 최근에 ICP 의 임피던스를 측정해볼 필요성이 생겼습니다만, 저희 연구실이 원래 이쪽을 하던 곳이 아니라서 딱히 물어볼 곳이 없었는 데 이렇게 질문을 할 수 있는 공간을 찾게 되어 다행이라고 생각합니다.


처음에는 단순하게 생각했습니다. 오실로스코프와 연결해서 쓰는, 흔한 voltage probe 와 current transformer 를 Impedance matcher 의 출력단 (가능하다면 ICP coil 에 직접 연결해서 측정을 하고 싶지만 ICP 가 비교적 뜨거울 것이고 강한 전자기파도 발생하고 있을 것이기 때문에 위험하지 않을 까 싶어 matcher 의 출력단을 측정 장소로 정했습니다) 에 물려서 voltage 와 current 의 파형을 얻고 voltage 와 current 의 amplitude 그리고 서로간의 phase 차이를 구하여 ICP 의 임피던스를 구하려고 했습니다 (물론 정확히 말하면, ICP coil + plasma 의 임피던스를 측정하는 것입니다). 그런데 제가 RF generator 회사의 엔지니어 분께 이런 방법이 가능한지에 대하여 문의를 드렸을때, 이런 방법으로 하면 voltage probe 의 capacitance 가 ICP 에 일부 영향도 주고 RF generator 에서 나오는 power 의 일부가 voltage probe 로 넘어가기 때문에 위험할 수 있다는 답변을 들었습니다. ICP 가 high voltage device 도 아니기 때문에 안전할 거라고 생각했는 데 제가 잘못 생각했는지 모르겠습니다. 그 분께서는 VI probe 라는 걸 이용하면 ICP 임피던스의 측정이 가능하다고 말씀하셨는 데, 이 부분에 대해서는 제가 공부가 좀 더 필요한 것 같습니다. 만일 이 장비가 비싸면 저희 연구실에서 사용하기 어려울 수도 있다는 생각도 듭니다.


ICP 의 임피던스를 측정하는 일반적인 방법들에는 어떤 것이 있는 지 알려주실 수 있으시겠는지요. 대략적이나마 알려주시면 그걸 바탕으로 공부를 할 수 있을 것 같습니다.


설 잘 보내시고 새해 복 많이 받으시기를 바랍니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76538
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91694
484 MFP에 대해서.. [1] 7817
483 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7695
482 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7629
481 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7589
480 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7156
479 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 7062
478 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6618
477 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6569
476 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6534
475 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6483
474 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6463
473 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6452
472 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6428
471 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6416
470 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6408
469 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 6378
468 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6358
467 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 6355
466 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6249
465 자료 요청드립니다. [1] 6201

Boards


XE Login