Others QMA에서 electron beam의 generation 과정
2004.06.19 16:04
1. QMA에서 electron beam을 generation하는 과정을 알고 싶습니다.
2. Ion source근방에서 Lens를 상용하는 것으로 알고 있는데..
이온 빔을 평행한 빔으로 만드는 과정인지를 알고 싶습니다.
3. Energy Filter의 종류와 원리를 알고 싶습니다.
너무 질문이 추상적인 것 같아서 ... ^^
죄송합니다. 아직 모르는 것이 많아서.......
ps. 혹시라도 QMA를 통하여 얻어지는 signal에 대한 NIST표준을
찾을 수 있는 site및 자료를 갖고 계신다면... 좀 얻을 수 있었으면
좋겠습니다. 어떻게 좀.... 알수있는 방법이 없을까요...
이에 대한 참고 문헌을 소개해 주셔도 ....
정말 감사드리겠습니다. ^^
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76721 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20172 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57165 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68696 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92273 |
| 288 | Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] | 1425 |
| 287 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1423 |
| 286 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 1416 |
| 285 |
poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
 | 1408 |
| 284 | 플라즈마 관련 교육 [1] | 1405 |
| 283 |
dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!!
[1] | 1402 |
| 282 | 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] | 1394 |
| 281 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1388 |
| 280 | 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] | 1385 |
| 279 | Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] | 1376 |
| 278 | [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] | 1373 |
| 277 | Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] | 1370 |
| 276 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 1365 |
| 275 | Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] | 1354 |
| 274 | low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] | 1351 |
| 273 | Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] | 1348 |
| 272 | Plasma Cleaning 관련 문의 [1] | 1345 |
| 271 | DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] | 1330 |
| 270 | CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] | 1330 |
| 269 |
CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1] | 1324 |