Plasma에서 Coupled(결합)의 의미 [Power coupling과 breakdown]

2017.12.17 01:31

심규웅 조회 수:1091

안녕하세요.

반도체 assembly 회사에서 근무하고 있습니다.

ICP / CCP 에서 coupled (결합) 란 의미가 plasma 관점에서 정확히 무엇인지 알수 있나요?

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