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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [Atmostpheric pressure plasma jet]
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center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [CCP 균일도, CCP edge]
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Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase]
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플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [광운대 플라즈마 바이오 연구소]
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O2 Asher o-ring 문의드립니다. [Plasma heat와 dissociation]
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플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [세정 공정 개발]
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Self bias 내용 질문입니다. [쉬스와 표면 전위]
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안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [DC glow discharge]
[1] | 1017 |
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플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [Breakdown condition 및 Paschen's law]
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RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [TC gauge 동작 원리]
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ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [국부 전기장 형성 및 edge 세정]
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Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선]
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연면거리에 대해 궁금합니다. [아크 제어]
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플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅]
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RF 주파수에 따른 차이점 [이온 및 전자 주파수 선택]
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문의 드립니다. [방전 개시 조건 및 Bohm current density]
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매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model]
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라디컬의 재결합 방지 [해리 반응상수]
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RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해보고 싶습니다. [플라즈마 가속 전자의 충돌 반응]
[1] | 951 |
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205 |
RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계]
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