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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단]
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Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [Particle 관리]
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주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [ICP, CCP 플라즈마 heating]
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PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [글로우 방전 및 아크 방전]
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RF 파워서플라이 매칭 문제
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플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [Breakdown 이해]
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ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [ECRiS]
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플라즈마 용어 질문드립니다. [Self bias]
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Hollow Cahthode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [장치 setting과 전극재료]
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DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [DBD와 "industrial plasma engineering"]
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경전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다.
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플라즈마 충격파 질문 [플라즈마 생성에 의한 충격파 현상]
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반도체 METAL ETCH시 CH4 GAS의 역할 [플라즈마 식각기술]
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방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [플라즈마 응용기술]
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플라즈마 진단 OES 관련 질문 [OES와 atomic spectroscopy]
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Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지]
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교수님 질문이 있습니다. [Child-Langmuir sheath]
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Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [충돌 거리 및 Deposition]
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RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [반응기 내벽 변동 및 벽면 불화 정도 판단]
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analog tuner관련해서 질문드립니다. [박막 플라즈마 및 tunning 원리]
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