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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[220]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요?
[1] | 24091 |
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Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제
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686 |
plasma와 arc의 차이는?
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plasma and sheath, 플라즈마 크기
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684 |
플라즈마 쉬스
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683 |
self Bias voltage
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682 |
[질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요.
[3] | 23595 |
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681 |
N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요
[2] | 23549 |
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680 |
Arcing
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플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다.
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678 |
HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생
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677 |
광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요?
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676 |
CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점.
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DC glow discharge
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674 |
No. of antenna coil turns for ICP
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고온플라즈마와 저온플라즈마
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672 |
입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP)
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671 |
안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다.
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floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점
[2] | 22702 |
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CCP/ICP , E/H mode
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