Others RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유
2022.07.08 16:18
안녕하세요. 최근 RF Power Reflect 감소를 위해 Plasma에 대해 공부하고 있는, 반도체 회사 직장인입니다.
다름이 아니라, RF Power의 Hunting성 Reflect를 감소하기 위해 Gas Flow를 Ramping 형식으로 평가한 자료를 보내되었습니다.
Gas를 이와 같이 점진적으로 증가시키며 Flow할 때와, 한번에 Set Flow를 했을 때
Plasma 형성의 차이와, 왜 이 같은 방식이 RF Power의 Hunting을 감소시키기 위한 방안인지에 대한 상관관계에 대해 궁금증이 생겨 글을 남기게 되었습니다.
감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76540 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20077 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68615 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91696 |
643 | 대기압 상태의 플라즈마 측정 | 19721 |
642 | DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 | 19710 |
641 | Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. | 19681 |
640 | DC SPT 문의 | 19680 |
639 | cross section 질문 [1] | 19668 |
638 | smsith chart 공식 유도하는 방법? | 19650 |
637 | 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 | 19638 |
636 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19527 |
635 | Full Face Erosion 관련 질문 [2] | 19456 |
634 | self bias [1] | 19455 |
633 | 플라즈마를 이용한 박막처리 | 19440 |
632 | QMA에 관하여 [1] | 19417 |
631 | H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] | 19408 |
630 | AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... | 19369 |
629 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19351 |
628 | CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 | 19336 |
627 | MFC | 19318 |
626 | [Q]플라즈마 생성위한 자유전자라는게 뭐죠? | 19297 |
625 | scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] | 19204 |
624 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19189 |