====================================<질문>===================================
전 대학원에서 ICP장비를 이번부터 배우려고 하는 학생입니다.
sheath 영역은 플라즈마 장비를 배우는데, 그보다도 플라즈마를 배우는데 매우 중요한 것으로 알고 있습니다. 좀더 이 영역에 대한 좀더 자세한 내용을 알고 싶은데 어디에서 찾을 수 있을지 궁굼합니다. 그리고 selective etching에대해 알고 싶습니다.
====================================<답변>===================================
질문하신 내용의 대부분은 이미 설명한 내용입니다.
본란을 잘 찾아 보시기 바랍니다.
특히 ICP든 CCP든 플라즈마 발생 방법에 대해서 공부를 하고자
한다면 이 또한 이미 설명 드린 내용에서 기초적인 이해를 얻을 수
있을 것 입니다.
한 가지 권하고 싶은 것은 ICP 공부 이전에 DC glow 방전에 대해서 먼저
이해하고 공부를 시작하기 바랍니다.
(+ 저희 플라즈마 응용 연구실의 강의록을 참조하기 바랍니다.)
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76540 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68615 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91695 |
603 | PDP 에 대해서.. | 18302 |
602 | sputtering | 18282 |
601 | 플라즈마와 사용되는 기체선택 | 18232 |
600 | 마그네트론관 또는 그외반도체소자로 물을 고열증발가능? | 18212 |
» | ICP에 대하여 | 18194 |
598 | 저온 플라즈마에 관한 질문 | 18190 |
597 | rotational vibration excitation | 18180 |
596 | 진로상담 | 18143 |
595 | 증착에 대하여... | 18097 |
594 | DBD plasma | 18081 |
593 | 플라즈마의 정의 | 18039 |
592 | Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? | 18023 |
591 | 플라즈마를 알기위해서는 어떤것을 알아두는 것이 좋.. | 18019 |
590 | Plasma of Bio-Medical Application | 18006 |
589 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 18000 |
588 | Plasma Gas의 차이점 [1] | 17955 |
587 | electrode gap | 17934 |
586 | 플라즈마 응용분야 | 17856 |
585 | QMA에서 electron beam의 generation 과정 [1] | 17838 |
584 | capacitively/inductively coupled plasma | 17791 |