안녕하세요. 

저희 장비에서 RF는 상부와 하부로 나뉘어져 있고 하부 쪽에서 Vpp가 측정됩니다. 보통 이것과 Ion energy를 비례하게 해석하던데, 어떻게 연결 지어야 하는지 궁금합니다.

장비 설명에서 Vpp는 RF Matcher의 Position으로부터 도출되는 것이라고 설명되있었습니다.

즉 하부에서 RF reflect가 존재해야 Vpp가 계산된다는 것인데, 이것으로 어떻게 Ion Energy를 예상하는지...

일반적으로 입사되는 Ion이나 전자의 전하 움직임을 Reflect로 해석하는 것인가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
523 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. 13198
522 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] 13042
521 반응기의 면적에 대한 질문 12809
520 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 12733
519 ICP와 CCP의 차이 [3] 12432
518 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. 12348
517 플라즈마 살균 방식 [2] 11415
516 N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] 11293
515 DC bias (Self bias) [3] 11217
514 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11070
513 RGA에 대해서 10534
512 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 10370
511 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 10336
510 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] 10280
509 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 10223
508 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 9905
507 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9841
506 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9816
505 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9654
504 대기압 플라즈마에 대해서 9621

Boards


XE Login