30 kW급 공동형 (양 극 모두 구리) 플라즈마 토치를 운전하는데, 음극에서 구리 소모가 상당히 심하네요. 원래 음압에서 운전하도록 설계된 토치인데, 저희는 약간의 양압 상태에서 운전하고 있습니다. 0.2 bar정도...

플라즈마 소스는 알곤가스를 사용합니다. 냉각은 13도로 들어가서 15도 정도로 나오니... 잘 되는 것 같은데.... 구리가 많이 나오네요.

이런 경우는 어떤 대처가 필요할 까요? 궁금합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5816
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17283
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53105
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64496
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85109
397 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6499
396 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6474
395 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6363
394 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6330
393 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6329
392 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 6274
391 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6256
390 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6233
» 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6224
388 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6103
387 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 6094
386 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6070
385 자료 요청드립니다. [1] 6069
384 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 5907
383 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5765
382 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5714
381 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 5689
380 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5416
379 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 5336

Boards


XE Login