Others PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다.
2024.05.25 16:42
안녕하세요 지금 연세대학교에 재학중인 학부생입니다. 다름이 아니라 PECVD실험을 해서 논문을 쓰고 싶은데 PECVD 실험에 대해서 질문드리고자 합니다. PECVD실험을 할때 저희가 변수를 세워야 할 것이 뭐가 있을지 조언을 얻고 싶습니다. 그리고 pe-cvd를 이용하여 박막을 증착시킬경우 박막 특성을 평가하기 위한방법에는 어떤 것이 있나요?
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [311] | 79190 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 21241 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 58052 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69605 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 94387 |
802 | RF에 대하여... | 32299 |
801 | ICP 플라즈마에 관해서 [2] | 32217 |
800 | RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. | 31761 |
799 | DC Bias Vs Self bias [전자 에너지 분포] [5] | 31740 |
798 | [Sputter Forward,Reflect Power] [Sputter와 matching] [1] | 31316 |
797 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. | 30262 |
796 | 플라즈마 밀도 [Langmuir 탐침과 플라즈마의 밀도] | 30230 |
795 | PECVD에서 플라즈마 demage가 발생 조건 [쉬스와 플라즈마 밀도에 의한 damage] | 29899 |
794 | matching box에 관한 질문 [ICP Source 설계] [1] | 29799 |
793 | 플라즈마의 정의 | 29582 |
792 | 물질내에서 전하의 이동시간 | 29421 |
791 | OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. [Etching] [1] | 29201 |
790 | 플라즈마를 이용한 오존 발생장치 [Ozone과 Plasma] | 29033 |
789 | 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [Mean free path] [1] | 28946 |
788 | Arcing [전하 축적에 의한 방전 개시] [1] | 28752 |
787 | 플라즈마와 자기장의 관계 | 28632 |
786 | 반도체 관련 질문입니다. | 28605 |
785 | esc란? | 28176 |
784 | sheath와 debye sheilding에 관하여 [전자와 이온의 흐름] | 28075 |
783 | 탐침법 | 28019 |