Others 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요.
2017.09.07 15:11
현재, 스퍼터링 시스템에 대해 공부를 하고 있습니다.
자연스레 플라즈마에 대해 알아야 되더라고요.
근데 공부 중에 플라즈마에 관련된 여러 변수 또는 파라미터들을 알게 되었습니다.
그 중 제가 질문하고자 하는 변수는 RF 파워인데요
RF 파워가 커지면 이온 에너지도 커진다고 알고 있습니다.
이게 왜 그런지 알고 싶습니다!
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76539 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68613 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91695 |
283 | N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] | 1411 |
282 | ICP lower power 와 RF bias [1] | 1402 |
281 | poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. | 1399 |
280 | dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] | 1395 |
279 | 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] | 1391 |
278 | 플라즈마 관련 교육 [1] | 1383 |
277 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 1383 |
276 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1382 |
275 | Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] | 1365 |
274 | [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] | 1363 |
273 | 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] | 1352 |
272 | Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] | 1338 |
271 | low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] | 1336 |
270 | Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] | 1332 |
269 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 1327 |
268 | DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] | 1322 |
267 | Plasma Cleaning 관련 문의 [1] | 1320 |
266 | CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] | 1318 |
265 | 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] | 1317 |
264 | CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] | 1307 |
PF Power 는 인가 전압 x 인가 전류 x 위상차의 함수인 power factor를 곱한 값입니다. 즉 power의 크기가 커지는 경우는 인가된 전압이 커지나 전류가 커지거나 서로의 위상이 잘 정돈된 경우세 power가 커집니다. 따라서 전압이 커지는 경우, 전력 인가 대상 앞의 이온의 가속 에너지를 키울 수 있게 되며, 전류를 키우는 경우 인가 대상으로 흐르는 플라즈마 전류를 키울 수가 있겠고, 위상을 잘 맞추는 경우 전력이 플라즈마 가속과 생성 반응으로 잘 흡수되도록 할 수가 있게 됩니다. 전력의 인자를 나누고 그 역할을 생각해 보면 공부에 도움이 될 것입니다.