DC glow discharge DC Plasma 전자 방출 메커니즘
2018.04.19 11:22
반도체 장비업체에서 일하고 있는 사람입니다.
전기, 전자 전공으로 최근에 Plasma에 관심이 생겨서 공부하고 있습니다.
DC Plasma에서 전자방출 메커니즘이 여러가지가 있는 것으로 알고 있습니다.
타운센트 방전 이론에 의한 알파, 감마 작용는 이해가 가는데,
1. 플라즈마 내부 광자에 의한 음극에서의 이차 전지 방출(Photoemission)
2. 준안정(metastable) 종이 음극을 때릴 때 이차 전자 방출
위의 두가지가 무엇을 의미하는지 잘 모르겠습니다.
알고계시는 선배님들 알려주시면 감사하겠습니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76714 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20170 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57164 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68696 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92273 |
| 288 | Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] | 1425 |
| 287 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1423 |
| 286 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 1416 |
| 285 |
poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
 | 1408 |
| 284 | 플라즈마 관련 교육 [1] | 1405 |
| 283 |
dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!!
[1] | 1402 |
| 282 | 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] | 1394 |
| 281 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1388 |
| 280 | 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] | 1385 |
| 279 | Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] | 1376 |
| 278 | [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] | 1373 |
| 277 | Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] | 1370 |
| 276 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 1364 |
| 275 | Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] | 1354 |
| 274 | low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] | 1351 |
| 273 | Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] | 1348 |
| 272 | Plasma Cleaning 관련 문의 [1] | 1345 |
| 271 | DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] | 1330 |
| 270 | CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] | 1330 |
| 269 |
CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1] | 1324 |