Collision 3-body recombination 관련 문의드립니다.
2017.01.19 16:00
Plasma 를 공부하는 중에 bulk plasma 가 아닌 chamber wall 에서의 반응들에 대해 공부하게 되었는데요.
3-body recombination 에 대해 문의드리고자 합니다.
형성된 plasma 가 소모되는 가장 큰 이유로 chamber wall 에서의 충돌이 있다고 알고 있습니다.
단순히 ion 과 electron 이 결합하여 neutral 이 되는 확률은 0 에 수렴하기 때문에
chamber wall 을 통한 3-body recombination 으로 neutral 이 된다고 했는데요.
이때 chamber wall 로의 charge transfer 도 3-body collision 에 의해서 진행되는것인가요?
이렇게 질문을 드리는 이유는
중성빔을 발생시킬때 plasma 를 reflecter 로 입사하여 reflecter 에 charge transfer 후 중성빔을 형성한다고 배웠습니다.
이때 ion 의 charge 가 trasfer 되는 원리가 3-body recombination process 에 의해서 된다고 들은 기억이 있는데
막상 이를 도식화 하려니까 정리 및 이해가 아직 잘 안됩니다.
댓글 2
-
김곤호
2017.01.20 11:30
-
신재희
2017.01.20 16:57
네 2-body recombination 이 안되는 이유에 대해서는 수식적으로나
다른 설명등을 통해서 접했기 때문에 이해하고 있습니다.
다만 3-body recombination process 상에 charge transfer 가 일어나는지에 대한 문제입니다.
예를들어 chamber wall 을 통해 negative ion 과 electron 이 recombination 을 한다면
이 과정에서 chamber wall 과 negative ion 간의 charge transfer 가 일어나면서
recombination 이 진행되는것인지, 혹은 단순히 중간 매개체로써 recombination 상에
참여하는것인지 문의 드립니다.
사실 chamber wall 을 통한 negative ion 과 electron 의 3-body recombination 이 어떻게 일어나는지
mechanism 에 대한 이해가 부족하여 질문의 구체성이 부족할 수 있습니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76712 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20168 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57164 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68689 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92258 |
228 | 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] | 1102 |
227 | Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] | 1086 |
226 | 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] | 1075 |
225 | Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] | 1070 |
224 | 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] | 1063 |
223 | 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] | 1058 |
222 | HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] | 1056 |
221 | RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] | 1056 |
220 | etch defect 관련 질문드립니다 [1] | 1054 |
219 | Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] | 1050 |
218 | Plasma Arching [1] | 1047 |
217 | 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ | 1045 |
216 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1037 |
215 | 플라즈마 코팅 [1] | 1036 |
214 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 1030 |
213 | Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] | 1028 |
212 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 1021 |
211 | langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] | 1015 |
210 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 1011 |
209 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 1007 |
음이온 전자와 양이온 입자가 결합해서 중성입자가 되어야 하는 과정에서 3-body 충돌의 개념이 필요합니다. 그 이유는 에너지 보존과 모멘텀 보존이 되어야 하기 때문입니다. 이는 당연히 플라즈마 수업에서 2-body 충돌 해석에서 공부를 했을 것이니, 이를 확장해서 생각해 보면 3-body 충돌 조건에 대해서 이해와 수식화를 수월하게 할 수 있을 것 입니다.