Plasma in general RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다
2018.12.30 00:14
안녕하세요 반도체회사에서 일하는 엔지니어입니다.
RF MATCHING NETWORK에 대해 독학을 하고 싶은데 관련 교재 추천 부탁드리겠습니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [221] | 75436 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19172 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56481 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67572 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 89377 |
| 168 | RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] | 868 |
| 167 | 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] | 860 |
| 166 | Plasma Arching [1] | 855 |
| 165 | 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] | 855 |
| 164 | 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] | 838 |
| 163 | etch defect 관련 질문드립니다 [1] | 837 |
| 162 | 문의 드립니다. [1] | 805 |
| 161 | CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] | 804 |
| 160 | PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] | 803 |
| » | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 802 |
| 158 | anode sheath 질문드립니다. [1] | 794 |
| 157 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 785 |
| 156 | Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] | 783 |
| 155 |
CCP Plasma 해석 관련 문의
[1]  | 780 |
| 154 | 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] | 779 |
| 153 | O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] | 777 |
| 152 | RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] | 777 |
| 151 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 773 |
| 150 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 760 |
| 149 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 755 |
글쎄요, matcher를 책자로 정리한 경우는 회사 사내 교재 밖에 본 적이 없습니다.
다만 우리가 고려하는 matcher의 load인 플라즈마 imdedance를 고려한 matching 설계에 관한 내용은 공정플라즈마 공학 관련 책에서 찾으실 수 있습니다. CCP 및 ICP 경우가 다르며 이에 대해서 잘 설명이 되어 있는 참고서적은 "Principles of plasma discharges and materials processing' 2nd ed. 'M.A. Liebermann and A.J.Lichtenberg (Wiley) 혹은 Inductrilal plasma engineering, JR Roth (IOP)를 추천합니다.
아울러 본 게시판에서 논의된 matcher QA 내용이 도움이 될 수도 있겠습니다. 게시판 내용을 확인해 보세요.