Plasma in general Co-relation between RF Forward power and Vpp
2022.04.27 17:35
Hello,
I am working on a ALD (Atomic layer deposition) product wherein we are processing multiple wafers in the single reactor.
When we supply RF power to one of the reactor (i.e. REACTOR 1), the other reactor (REACTOR 2) beside reactor 1 is showing high Vpp value. We are not supplying RF power to reactor 2. (Please note reactor 1 & reactor 2 share the gas flow volume and are not fully isolated)
Why would this be happening ?
댓글 2
-
김곤호
2022.04.28 17:57
추천:1 댓글
-
서태현
2022.05.03 11:25
What component is Vpp sensor installed on?
If Vpp sensor is attached to the matching network, check if the signal actually comes out from the analog signal. Remove the data cabler and measure it with the DVM on the matching network.
You need to check whether it is actual analog noise or actual measurement, and if it is measured on the matching network, it would be faster to test the replacement. Check if Match and GND are connected (signal GND, Match GND)
If there is a separate VI probe, you should suspect that there is a floating circuit.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [180] | 74896 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18754 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56232 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66719 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88087 |
| 78 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 528 |
| 77 | Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] | 515 |
| 76 | 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] | 509 |
| 75 |
수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다
[2]  | 507 |
| 74 | 활성이온 측정 방법 [1] | 506 |
| 73 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 499 |
| 72 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 495 |
| 71 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 486 |
| » | Co-relation between RF Forward power and Vpp [2] | 484 |
| 69 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 484 |
| 68 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 482 |
| 67 |
해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안
[1] | 476 |
| 66 | 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] | 470 |
| 65 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 466 |
| 64 | RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] | 462 |
| 63 | 간단한 질문 몇개드립니다. [1] | 462 |
| 62 |
연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준
[1] | 454 |
| 61 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 444 |
| 60 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 432 |
| 59 | Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. | 432 |
It seems to be an RF ground issue, and check it.