Matcher Plasma Arching
2022.09.13 19:17
안녕하십니까!
경기도 모 소재대학에 신소재공학과 재학중인 학생인데
신소재공학과는 전자기학을 배우지 않아서 어려움을 겪고있습니다.
1. 아킹 현상에 대해 공부중인데 임피던스 매칭? 이런 개념들이 너무 어렵고 플라즈마에 대해 이해도를 높이기 위해 전자기학 책 (원서도 좋습니다) 추천해주실만한 서적있으신가요?
답변주시면 감사하겠습니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76727 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20184 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68699 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92278 |
149 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 709 |
148 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 707 |
147 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 705 |
146 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 701 |
145 | RF 주파수에 따른 차이점 [1] | 700 |
144 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 696 |
143 | 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] | 694 |
142 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 687 |
141 | 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] | 681 |
140 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 679 |
139 | 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] | 678 |
138 | [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] | 669 |
137 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 666 |
136 | Polymer Temp Etch [1] | 662 |
135 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 657 |
134 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 637 |
133 | Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] | 636 |
132 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 634 |
131 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 625 |
130 | 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] | 618 |
재료적 관점에서 플라즈마를 전기적 물성을 가진 재료로 생각해 보세요. 이 개념은 플라즈마의 dielectric property를 이해하는 것으로 시작하는데, 특히 lossy 한 재료가 가지는 RF 반응을 이해하면 좋습니다. 따라서 plasma dielectric property 에서 rf 주파수의 역할, plasma frequency, 및 기본적인 collision frequency 가 dielectric property를 어떻게 바꾸는가에 대해서 생각을 정리해 보세요. 이를 이해하기에 좋은 교재는 물리2 이고 Maxwell 방정식으로 부터 plasma dielectric frequency를 유도할 수 있으면, 플라즈마 공부하시는데 크게 지장은 없습니다. 참, 입자의 거동이니 하전입자의 운동 방정식과 연속 방정식은 늘 함께 다니는 식입니다. 이는 물리 1에서도 다루고 있습니다.
전자기학 책에 너무 연연하지 마시고 일반 물리에서 배운 지식을 잘 활용해 보시면 좀 더 수월하게 접근하실 수 있는 분야가 플라즈마 분야라 생각합니다.