OES 플라즈마 진단 OES 관련 질문

2022.11.27 01:07

wldn 조회 수:701

안녕하세요, 플라즈마 관련하여 공부하고 있는 대학원생입니다.

 

플라즈마 진단 장비인 OES에 대해 몇가지 궁금증이 있어 글을 남깁니다.

 

OES로 실시간 플라즈마 공정 모니터링을 진행시 spectrum data가 검출되는데,

해당 spectrum data 파장영역에서 검출되는 원소를 찾아 정성분석이 가능하지만,

반면 정확한 정량분석은 어떻게 이루어 지는지 원리를 알고 싶습니다.

 

OES 정량분석을 공부하다가, 다른 논문들을 통해 actinometry으로 OES 정량분석을 진행하는걸 확인하였는데,

actinometry 방법 사용 이유, 원리 등을 자세하게 알고 싶습니다. 

 

또한 플라즈마를 이용한 건식식각 공정 중 OES를 이용하여 etch chemistry를 알 수 있는 방법이 있다면, 어떠한게 있을까요?

 

질문방의 여러가지 다양한 질문과 답변을 통해 많은 도움을 받고 있습니다.

감사합니다.

 

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76541
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20077
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
143 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 692
142 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 689
141 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 687
140 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 678
139 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 676
138 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 674
137 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 673
136 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 670
135 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 661
134 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 651
133 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 650
132 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 650
131 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 650
130 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 639
129 Polymer Temp Etch [1] 635
128 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 633
127 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 629
126 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 617
125 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 614
124 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 601

Boards


XE Login