번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [234] 75752
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19438
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56663
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67996
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90218
97 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 527
96 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 526
95 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 522
94 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 522
93 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 521
92 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 517
91 핵융합 질문 [1] 514
90 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 507
89 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 503
88 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 495
87 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 493
86 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 492
85 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 479
84 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 477
83 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 476
82 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 474
81 RF Sputtering Target Issue [2] file 467
80 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 466
79 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 465
78 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 461
쓰기
태그

Boards

XE Login