Others SCCM 단위에 대하여 궁금합니다.

2004.06.25 13:02

관리자 조회 수:144271 추천:425


===============================<질문>=======================================

안녕하십니까??
궁금한게 있어여...
플라즈마 장비를 공부하다가 이상한 단위를 만나서요...
좀 알려 주세요.. sccm 이라는 건데요...
무슨 가스량을 나타내는 단위이긴 한거 같은데.. 정확한 내용을 몰라서요..
어떤 뜻인지..알고 계시면 좀 알려주세요.. 부탁 드립니다.. 좋은 하루 되세요...


==============================<답변>========================================

SCCM 은 flow rate를 의미합니다. 즉 torr-liter/sec (t-l/s)와 같이 쓰입니다.
sccm은 standard cc per minute로 (0C, 1atm 상태에서의 값입니다.)
1sccm= 6.02e23/22400cm^3 molecules / min 즉 분당에 2.7e19개의 분자입자들이 흘러들어가는 정도의 기체유량을 의미합니다.
참고로 1 t-l/sec와는 79.05sccm인 관계가 있으며 1 t-l/sec= 2.13e21 molecules/min의 관계입니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76543
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
123 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 599
122 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 598
121 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 594
120 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 594
119 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 592
118 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 590
117 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 589
116 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 588
115 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 585
114 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 581
113 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 578
112 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 577
111 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 574
110 RF Sputtering Target Issue [2] file 573
109 plasma 공정 중 색변화 [1] 572
108 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 572
107 활성이온 측정 방법 [1] 570
106 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 567
105 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 567
104 핵융합 질문 [1] 561

Boards


XE Login