Chamber Impedance Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다.
2022.09.27 13:01
안녕하세요.
저는 RF Generator의 power amlifier를 연구하고 있는 학생입니다.
Load impedance를 50 ohm으로 설계를 했는데 matcher가 없을 때의 power amlifier의 성능을 확인하고자 합니다.
Chamber impedance의 범위가 어떻게 되는지 질문드립니다.
감사합니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76672 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20149 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57149 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68669 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92171 |
127 | 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] | 611 |
126 | ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] | 607 |
125 | 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] | 607 |
124 | 기판표면 번개모양 불량발생 [1] | 605 |
123 | 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] | 602 |
122 | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] | 601 |
121 | plasma 공정 중 색변화 [1] | 597 |
120 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 596 |
119 | N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] | 593 |
118 | RF Sputtering Target Issue [2] | 592 |
117 | Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] | 592 |
116 | 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] | 589 |
115 | 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] | 589 |
114 | 간단한 질문 몇개드립니다. [1] | 587 |
113 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 584 |
112 | OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] | 582 |
111 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 575 |
110 | Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] | 574 |
109 | 활성이온 측정 방법 [1] | 572 |
108 | CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] | 571 |