PM을 한번 하시죠
2009.03.13 09:01
챔버 내부 Clean을 한번 하시죠
Polymer가 많이 나오면 Etch rate이 떨어지고 Throttle v/v의 angle이 변하는 경우도 있습니다.
Polymer가 많이 나오면 Etch rate이 떨어지고 Throttle v/v의 angle이 변하는 경우도 있습니다.
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