Plasma in general RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다
2018.12.30 00:14
안녕하세요 반도체회사에서 일하는 엔지니어입니다.
RF MATCHING NETWORK에 대해 독학을 하고 싶은데 관련 교재 추천 부탁드리겠습니다.
감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76539 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68613 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91695 |
662 | 플라즈마 진단법에 대하여 [1] | 20542 |
661 | 확산펌프 | 20504 |
660 | wafer 전하 소거: 경험 있습니다. | 20477 |
659 | RIE장비 에서 WALL 과 TOP 온도 | 20411 |
658 | Langmuir probe tip 재료 | 20400 |
657 | CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [1] | 20357 |
656 | 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] | 20308 |
655 | 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] | 20257 |
654 | 형광등과 플라즈마 | 20239 |
653 | 플라즈마 matching | 20218 |
652 | DBD플라즈마와 플라즈마 impedance | 20202 |
651 | Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. | 20194 |
650 | CCP의 Vp가 ICP의 Vp보다 높은 이유 | 20003 |
649 | 석영이 사용되는 이유? [1] | 19999 |
648 | 플라즈마 진동수와 전자온도 | 19998 |
647 | [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] | 19830 |
646 | 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] | 19768 |
645 | 상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. | 19751 |
644 | PM을 한번 하시죠 | 19724 |
글쎄요, matcher를 책자로 정리한 경우는 회사 사내 교재 밖에 본 적이 없습니다.
다만 우리가 고려하는 matcher의 load인 플라즈마 imdedance를 고려한 matching 설계에 관한 내용은 공정플라즈마 공학 관련 책에서 찾으실 수 있습니다. CCP 및 ICP 경우가 다르며 이에 대해서 잘 설명이 되어 있는 참고서적은 "Principles of plasma discharges and materials processing' 2nd ed. 'M.A. Liebermann and A.J.Lichtenberg (Wiley) 혹은 Inductrilal plasma engineering, JR Roth (IOP)를 추천합니다.
아울러 본 게시판에서 논의된 matcher QA 내용이 도움이 될 수도 있겠습니다. 게시판 내용을 확인해 보세요.