Deposition 질문있습니다 교수님
2020.05.06 15:46
안녕하세요. 이제 막 반도체 수업을 듣기시작한 학생입니다. 한 질문에 궁금증이 생겨 질문 남기게 되었습니다.
4인치 웨이퍼 기준 100nm 두께로 구리 등 금속 박막을 대량으로 하려면 어떻게 해야될까 인 부분이었습니다.
이때 제 생각으로는 CVD공정이 가장 적합한것이 아닌가? 라고 생각하면서도 각 공정마다 장단점이 있어 헷갈립니다.
PVD의 경우 증착속도가 느리고, ALD의 경우 낮은생산 성 등..
어떠한 공정이 가장 적합한 공정이 될 수 있는지 궁금합니다 감사합니다
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] | 75427 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19163 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56479 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67556 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 89368 |
| 588 | scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] | 19120 |
| 587 |
AMS진단에 대하여 궁금합니다
 | 19005 |
| 586 | 플라즈마에 관하여... | 18931 |
| 585 | RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [1] | 18833 |
| 584 | 등온플라즈마와 비등온플라즈마 | 18732 |
| 583 | 플라즈마의 환경이용 | 18721 |
| 582 | 플라즈마진단법엔 어떤것이? | 18662 |
| 581 | 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요?? | 18637 |
| 580 | 주변의 플라즈마에 대하여 | 18633 |
| 579 | 플라즈마을 막는 옷의 소재는? | 18525 |
| 578 | 핵융합 발전에서는 폐기물이 않나오는 .... | 18504 |
| 577 | 형광등에서 일어나는 물리적인 현상 | 18500 |
| 576 | 최적의 펌프는? | 18484 |
| 575 | surface wave plasma 에 대해서 [1] | 18426 |
| 574 | RF compensate probe | 18395 |
| 573 | 질문 있습니다. [1] | 18352 |
| 572 | 물리적인 sputterting | 18309 |
| 571 | PDP 에 대해서.. | 18288 |
| 570 | 실생활에서 사용되는 플라즈마 | 18281 |
| 569 | Faraday shielding & Screening effect | 18279 |
박막 관련해서는 군산대학교 주정훈교수님께 문의드려 보세요. 속시원한 답을 구할 수 있을 것입니다.