Others N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점
2022.05.12 00:29
안녕하세요. 반도체회사에서 PECVD 장비를 하고있는 윤태화입니다.
GAS 종류에 따른 Plamsa 진행시 차이점이 있는지 궁금합니다.
1. N2 Gas 로 Plasma 진행 시 장단점
2. N2O Gas 로 Plasma 진행 시 장단점
3. N2 / N2O 두 Gas의 Plasma 차이점
4. N2 및 N2O GAS 사용으로 Plasma 4~5분 노출 시 챔버 내부 변색 가능성? 한두달 뒤 변색이 될 가능성..
위 4개 질문드립니다.
감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76727 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20183 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68699 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92277 |
629 | 기중방전에서 궁금한것이 | 19162 |
628 | 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요?? | 19071 |
627 | AMS진단에 대하여 궁금합니다 | 19049 |
626 | 플라즈마에 관하여... | 18960 |
625 | RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [1] | 18875 |
624 | 등온플라즈마와 비등온플라즈마 | 18767 |
623 | 플라즈마의 환경이용 | 18761 |
622 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 18740 |
621 | 플라즈마진단법엔 어떤것이? | 18731 |
620 | 주변의 플라즈마에 대하여 | 18652 |
619 | 핵융합 발전에서는 폐기물이 않나오는 .... | 18565 |
618 | 플라즈마을 막는 옷의 소재는? | 18552 |
617 | surface wave plasma 에 대해서 [1] | 18543 |
616 | 최적의 펌프는? | 18540 |
615 | 형광등에서 일어나는 물리적인 현상 | 18527 |
614 | RF compensate probe | 18452 |
613 | 질문 있습니다. [1] | 18368 |
612 | 물리적인 sputterting | 18364 |
611 | Faraday shielding & Screening effect | 18352 |
610 | 실생활에서 사용되는 플라즈마 | 18316 |
저희는 질소 및 질화막 공정에 익숙하지 않아 답변이 궁색합니다.
관련해서 최근 N2 관련 플라즈마를 깊이 연구하고 있는 그룹이 있어 소개해 드립니다. 아마도 연락을 취하시면 도움을 받을 수 있을 것 같습니다.
한국핵융합에너지연구원 플라즈마장비지능화연구단 (Plasma E. I. Convergence Research Center): http://www.kfe.re.kr