안녕하세요, 한국기술교육대학교에서 석사과정중인 최인규입니다.


현재, Plasma 상태에서의 분자와 기판의 반응을 시뮬레이션을 통해서 모사해 보려고 하고 있습니다.


다만 현재 N 플라즈마 상태에서, N이 어떠한 형태로 존재하는지 알지 못하고 있습니다. 


H 플라즈마의 경우에는 I. Mendezet al , J. Phys. Chem . Rev . A 110 2006 ) 6060 6 논문을 참고하여, 


H 원자 형태로 가장 많이 존재하며 그 이후로 H3+, H+, H2+ 순으로 구성되어있다고 하는데,


N 플라즈마의 경우 대부분이 N+ / N2+ 의 비율로만 보여주고 있어 어려움이 있습니다.


혹 N이 이온이 아닌 원자 형태로 존재하는지, 존재를 한다면 N+, N2+ 대비 얼마나 존재 할지 궁금하여 질문드립니다.


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
192 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1877
191 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 438
190 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1232
189 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 567
188 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 734
187 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1025
186 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1211
185 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 543
184 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1667
183 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1475
182 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3315
181 질문있습니다. [1] 2544
180 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2092
179 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 725
178 교수님 질문이 있습니다. [1] 732
177 wafer bias [1] 1119
176 Group Delay 문의드립니다. [1] 1134
» N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2115
174 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3914
173 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 426

Boards


XE Login