Plasma in general 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ?
2018.05.03 11:20
대학교 종합설계 프로젝트 과제를 위해 NF3/NH3 플라즈마 가스를 이용한 dry cleaning 실험을 진행해야하는데,
관련해서 플라즈마응용연구실에서 외부 학생들이 직접 실험 or 실험 참관이 가능한지 여쭤보고 싶어서 문의 남깁니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [219] | 75416 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19150 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56477 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67546 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 89326 |
| 162 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 515 |
| 161 |
염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다.
[1]  | 369 |
| 160 | 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? | 2285 |
| 159 | Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] | 3047 |
| 158 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 597 |
| 157 | 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] | 1973 |
| 156 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 449 |
| 155 |
수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다
[2] | 530 |
| 154 | 자기 거울에 관하여 | 1081 |
| 153 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 785 |
| 152 | Descum 관련 문의 사항. [1] | 3456 |
| 151 | glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] | 419 |
| 150 | OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] | 5815 |
| 149 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 430 |
| 148 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 679 |
| 147 | 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] | 3389 |
| 146 | RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] | 5455 |
| 145 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 447 |
| 144 | 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] | 901 |
| 143 | Collisional mean free path 문의... [1] | 722 |
우리 연구실 장비에서는 해당 가스 실험은 어렵습니다. 아쉽지만 반도체 공동 연구소 등 화공과 시설을 사용하여야 할 것 같군요.