kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
2009.11.17 16:06
안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다
a) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.
b) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV
Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76683 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20152 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57157 |
| » | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68677 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92193 |
| 133 | 플라즈마 압력에 대하여 [1] | 2727 |
| 132 | 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] | 1284 |
| 131 | DC bias (Self bias) [3] | 11250 |
| 130 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9515 |
| 129 | ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] | 1966 |
| 128 | RF frequency와 RF power 구분 | 39060 |
| 127 | RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 | 2280 |
| 126 | PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] | 2759 |
| 125 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 679 |
| 124 | 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] | 432 |
| 123 | RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] | 5142 |
| 122 | 문의 드립니다. [1] | 866 |
| 121 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1419 |
| 120 | O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] | 6168 |
| 119 | 강의를 들을 수 없는건가요? [2] | 1443 |
| 118 |
입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate
 | 373 |
| 117 | 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] | 961 |
| 116 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1386 |
| 115 | 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] | 1943 |
| 114 | RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] | 4166 |