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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [Skin depth, global model과 floating potential]
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RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [RF Power와 reflection]
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플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요 [RF power와 power factor]
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플라즈마 내에서의 현상 [Neo-classical transport theory]
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low pressure영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니다. [파센 커브와 글로우 방전]
[1] | 1468 |
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CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [챔버 벽면 성질 및 가스 손실]
[1] | 1488 |
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접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다. [플라즈마 소스 변경]
[1] | 1506 |
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O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [Global model]
[1] | 1507 |
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강의를 들을 수 없는건가요? [플라즈마 진단 심포지움 및 PSES-net]
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Plasma Cleaning 관련 문의 [Remote plasma source]
[1] | 1532 |
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플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [플라즈마 토치에서의 Rotational temperature]
[1] | 1539 |
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플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료]
[1] | 1578 |
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데포 중 RF VDC DROP 현상 [부유 전극의 self bias 형성]
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O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [Physical sputtering과 cleaning]
[1] | 1629 |
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glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [고전압 방전 및 DBD]
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다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [Radio-Frequency Plasma]
[1] | 1786 |
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CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [Plasma chemistry]
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RF 전압과 압력의 영향? [DC glow 방전, Paschen's Law]
[1] | 1878 |
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standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [Standing wave 운전 조건, 안테나 설계]
[1] | 1901 |
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공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다!
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