안녕하세요. 서울대학교 재료공학부 오규환 교수님 연구실 박사과정 정제준입니다.

SiC 샘플에 plasma etching을 하려고 하는데 CF4 or O2 플라즈마를 이용해서 실험을 해보려고 합니다.

1. 플라즈마 응용연구실에서 장비가 있다면 사용이 가능한지요?

2. SiC etching에 다른 플라즈마 소스를 추천해주신다면 어떤게 있을까요?

3. 장비가 없으시면 다른곳을 추천해주시면 감사하겠습니다.


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76543
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
172 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1414
171 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1437
170 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1442
169 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1453
168 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1476
167 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1520
166 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1550
165 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1564
164 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1635
163 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1668
162 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1677
161 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1690
160 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1734
159 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1781
158 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1855
157 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1878
156 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1925
155 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1944
154 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 1947
153 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1950

Boards


XE Login